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东莞净化车间装修的单向流净化是怎样的?


东莞净化车间装修的单向流净化是怎样的?

东莞净化车间装修厂家表示,单层垂直单向流万级净化车间单层水平单向流净化车间是多层垂直单向流净化车间剖面图,净化车间的上部为送风静压箱,在回风道内混入新风后送入送风静压箱经FFU送至洁净生产层;净化车间_F部为格栅地板和回风静压箱,侧面或两端为回风道。

公用动力管线等可布置在回风静压箱层或底层,新风处理机组一般集中设在侧面或辅助生产区内。这种布置方式能适合产品生产工艺的变化或扩大生产的改造,灵活性好。

东莞净化车间装修的单向流净化车间广泛应用于微电子产品或某些电子器件产品的生产过程。目前超大规模集成电路产品生产要求提供生产环境控制粒径O.l mm、0.05 mm,达到IS01级或更严格的级别,为适应此种要求,单向流净化车间的空间布置已从“单层”发展到“二层或三层”,并主要是采用垂直单向流净化车间。

为单层单向流净化车间的一种形式,东莞净化车间装修时,在单向流净化车间的上部为送风静压箱、F部为L风地板和回风道,侧面为回风静压箱、各类公用动力管道和少量辅助设备等,回风经空气处理后送至送风静压箱。

这类净化车间的空间布置的灵活性较差,当产品生产工艺或产l锗数量扩大时,进行生产工艺平面布置调整困难。图14是单层水平单向流净化车间布置,洁净室卜部为技术夹层,布置送)xl管、排风管和各种公用动力管线,集中设置空气净化处理装置。

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